Rastrovací elektronový mikroskop s autoemisní katodou

Přístroj slouží k:

Skenovací (rastrovací) elektronový mikroskop Nova NanoSEM 450 (FEI) s Schottky field emission zdrojem elektronů (dopadová energie od 0.02 do 30 keV, s předpětím na vzorku – beam deceleration) s detektory Through-lens SED (TLD), Everhart-Thornley SED, Low-vacuum SED (LVD), Through-lens BSED (TLD-B), Lens-mounted Annular GAD, Retractable DBS Detector, Retractable STEM 3 Detectors, a možností pozorování v těchto režimech:

• SEM – skenovací (rastrovací) elektronová mikroskopie s detekcí BSE a SE, bodové rozlišení ≤ 1.0 nm při 15 kV, ≤ 1.4 nm při 1 kV, v nízkovakuovém modu ≤ 2 nm při 3 kV.

• STEM –Skenovací transmisní elektronová mikroskopie, rozlišení ≤ 0.8 nm při 30 kV, s bright field, darkfield detektory a high angle dark field pro Z kontrastní zobrazování

• EDX – Energiově dispersní X-ray spektrometrie – TEAM EDS systém (EDAX) vybavený detektorem Octane plus (SDD, bez nutnosti používat kapalný dusík) s aktivní plochou 30 mm2 pro analýzu od B dále. Rozlišení Mn Kα < 129 eV.

Systém má aktivní stínění proti účinkům rušivých elektromagnetických polí, kryopast pro zlepšení vakua a plasma cleaner pro odstranění kontaminace vzorků.